Bauteile für die Halbleiterindustrie
Fortschritt durch Keramik
Die OXIDKERAMIK J. Cardenas GmbH fertigt aus dem Werkstoff Keramik auch Bauteile für die Halbleiterindustrie.
Dabei kommen alle Hochleistungskeramiken des Unternehmens zum Einsatz. Aus der Aluminiumoxidkeramik OK997 fertigen wir auch Isolatoren zur elektrischen Isolation.
Bauteile – elektrisch oder thermisch isolierend oder wärmeleitend – je nach Bedarf und Einsatz
Die Siliciumcarbidkeramik CARSIC310 kommt zum Beispiel dann zum Einsatz, wenn Wafer-Aufnahmen oder Prüfplatten für unsere
Kunden aus der Halbleiterindustrie hergestellt werden sollen. CARSIC310 hat eine gute Wärmeleitfähigkeit.
Die beiden Zirkonoxidkeramiken CR101 und CR105 werden verwendet, wenn etwa Sensorelemente produziert werden sollen.
Welche Keramik jeweils eingesetzt wird, ist also ganz davon abhängig, für welchen Einsatzbereich in der Halbleiterindustrie unser Kunde sich die bestellten Bauteile wünscht.
Erfahren Sie mehr zu unserem Werkstoff OK997, eine hochreine und dichte Aluminiumoxidkeramik:
Hier auf einen Blick die wichtigsten Merkmale:
- Temperaturbeständigkeit bis 1.500°C
- extreme Härte und Formstabilität
- hohe Druckfestigkeit
- niedrige spezifische Dichte 3,90 g/cm³
- sehr hohe Korrosionsbeständigkeit
- sehr hohe Verschleißbeständigkeit
- dielektrisches Verhalten
- elektrisch isolierend
- nach FDA-Richtlinien geprüft
- spez. Durchgangswiderstand 5 x 1014 O cm
- hohe Durchschlagsfestigkeit > 20 [kV/mm]
- gute Wärmeleitfähigkeit 28 W/m K
- hohe Oberflächengüte
► Mehr zu Aluminiumoxidkeramik OK997
Siliciumcarbid mit guter Wärmeleitfähigkeit
Unser Werkstoff CARSIC310, ein direkt gesintertes Siliciumcarbid (SSiC), bietet auch bei hohen Temperaturen konstante Werkstoffeigenschaften.
Es ist extrem korrosions-und verschleißbeständig sowie thermisch gut belastbar. Ein wichtiger Pluspunkt von CARSIC310 ist das hervorragende tribologische Verhalten.
Hier auf einen Blick die wichtigsten Merkmale:
- offene Porosität = 0 %
- gasdichter Werkstoff
- Temperaturbeständigkeit bis 1.500°C
- hohe Härte
- niedrige spezifische Dichte: 3,1 g/cm³
- sehr hohe Korrosions- und
- Verschleißbeständigkeit
- Wärmeleitfähigkeit = 100 W/m K
- chemische Beständigkeit von pH 0 bis pH 14
- nach FDA-Richtlinien geprüft
- Umfangsgeschwindigkeiten bis zu v = 50 m/s
- Einsatz im Hygiene- und Lebensmittelbereich
- hohe Oberflächengüte
- CIP/SIP-Reinigung möglich
► Mehr zu Siliciumcarbid CARSIC310